1 | Maks. werkdruk 20.6 Mpa. |
2 | Maks.werkstemperatuur 204 ℃ (hoë temperatuur omgewing tot 454 ℃, op hierdie tydstip word die seëlmateriaal vervang met uitgebreide grafiet) |
3 | Filterstelsel Deeltjies besoedelstowwe, gasse, vloeistowwe is van toepassing. |
4 | Vlekvrye staal poeiermetallurgie gesinterde filter filter akkuraatheid 2μm ~ 40μm |
5 | Filtervloei 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | Filter kan verander word. |
Produkkenmerke van Filter
1 | Wye toepassingsreeks, vloeireeks van 15 tot 300SL / min. |
2 | Dit het goeie verenigbaarheid met die meeste hoë-suiwer halfgeleier proses gasse. |
3 | 3 nanopartikelfiltrasiekapasiteit handhaaf hoë vloeidoeltreffendheid en ultraklein drukval. |
4 | 5Ra elektrogepoleerde oppervlak kan interne besoedeling voorkom. |
5 | Bak met warm stikstof na gedeïoniseerde water om aan halfgeleierprosesstandaarde te voldoen. |
6 | 1000 vlak stofvrye aseptiese werkswinkel vervaardiging, skoonmaak en verpakking omgewing. |
7 | Toets vir 100% helium lekkasie. |
Inlaat | Uitlaat | |
1 | 1/8″ buispasstuk | 1/8″ buispasstuk |
2 | 1/4″ buispasstuk | 1/4″ buispasstuk |
3 | 3/8″ buispasstuk | 3/8″ buispasstuk |
4 | 1/2″ buispasstuk | 1/2″ buispasstuk |
5 | 6MM buispasstuk | 6MM buispasstuk |
6 | 8MM buispasstuk | 8MM buispasstuk |
7 | 10MM buispasstuk | 10MM buispasstuk |
8 | 12MM buispasstuk | 12MM buispasstuk |
9 | 1/8″ Vroulike NPT | 1/8″ Vroulike NPT |
10 | 1/4″ Vroulike NPT | 1/4″ Vroulike NPT |
11 | 1/4 duim manlike NPT | 1/4 duim manlike NPT |
12 | 3/8″ Manlike NPT | 3/8″ Manlike NPT |
13 | 1/2″ manlike NPT | 1/2″ manlike NPT |
Produkprestasieparameters van filter
1 | Filter akkuraatheid | ≥0,0025μm | |
2 | Filtreerdoeltreffendheid | Verwyderingtempo99,99999%≥0,0025μm | |
3 | Gegradeerde vloei | 15 l/min | |
4 | 60L/min | ||
5 | 120L/Min | ||
6 | 200L/Min | ||
7 | 300L/Min | ||
8 | Filter samestelling | filter element | 316L/PTFE |
9 | behuising | vlekvrye staal 316L | |
10 | Werksomstandighede | Maksimum inlaatdruk | 21Mpa(310kgf/cm2) |
11 | Maksimum differensiaaldruk | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
12 | Maksimum bedryfstemperatuur | 430 ℃ (inerte gas) | |
13 | Helium lekkasietempo | 1×10-9 atm.cc/sek | |
14 | Oppervlak afwerking | ≤Ra 5μin |