Die proses spesiale gas wat gebruik word in die TFT-LCD vervaardigingsproses CVD afsetting proses: silaan (S1H4), ammoniak (NH3), fosfor (pH3), lag (N2O), NF3, ens., en bykomend tot die proses proses Hoë suiwerheid waterstof en hoë suiwer stikstof en ander groot gasse.Argongas word in die sputterproses gebruik, en die sputterfilmgas is die hoofmateriaal van sputtering.Eerstens kan die filmvormende gas nie chemies met die teiken gereageer word nie, en die mees geskikte gas is 'n inerte gas.'n Groot hoeveelheid spesiale gas sal ook in die etsproses gebruik word, en die elektroniese spesiale gas is meestal vlambaar en plofbaar, en die hoogs giftige gas, so die vereistes vir die gaspad is hoog.Wofly Technology spesialiseer in die ontwerp en installering van ultrahoë suiwer vervoerstelsels.
Spesiale gasse word hoofsaaklik in die LCD-industrie gebruik vir filmvorming en droogprosesse.Die vloeibare kristalskerm het 'n wye verskeidenheid klassifikasies, waar die TFT-LCD vinnig is, die beeldkwaliteit hoog is, en die koste geleidelik verminder word, en die mees gebruikte LCD-tegnologie word tans gebruik.Die vervaardigingsproses van die TFT-LCD-paneel kan in drie hooffases verdeel word: die voorskikking, medium-georiënteerde boksproses (SEL) en 'n na-stadium module-samestelling proses.Die elektroniese spesiale gas word hoofsaaklik toegepas op die filmvorming en droogstadium van die vorige skikkingsproses, en 'n SiNX-nie-metaalfilm en 'n hek, bron, drein en ITO word onderskeidelik neergelê, en 'n metaalfilm soos 'n hek, bron, dreineer en ITO.
Stikstof / Suurstof / Argon Vlekvrye Staal 316 semi-outomatiese omskakeling Gas Control Panel
Postyd: Jan-13-2022