Toerusting vir die behandeling van stertgas kan gasse hanteer wat gebruik word in etsprosesse en chemiese dampafsettingsprosesse in die halfgeleier-, vloeibare kristal- en sonenergiebedrywe, insluitend SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, en so op.
Uitlaatgasbehandelingsmetode
Volgens die kenmerke van uitlaatgasbehandeling, kan die behandeling in vier soorte behandeling verdeel word:
1. Water was tipe (behandeling van korrosiewe gasse)
2. oksiderende tipe (hantering van brandbare en giftige gasse)
3. adsorpsie (volgens die tipe adsorpsiemateriaal om die ooreenstemmende uitlaatgas te hanteer).
4. Plasma -verbrandingstipe (alle soorte uitlaatgasse kan behandel word).
Elke tipe behandeling het sy eie voor- en nadele sowel as die omvang van die toepassing. As die behandelingsmetode water was, is die toerusting goedkoop en eenvoudig, en kan dit slegs wateroplosbare gasse hanteer; Die toedieningsbereik van die tipe elektriese water was hoër as dié van die tipe waterwas, maar die bedryfskoste is hoog; Die droë tipe het 'n goeie behandelingsdoeltreffendheid en is nie van toepassing op die gasvloei wat maklik is om verstop of gevloei te word nie.
Chemikalieë en hul neweprodukte wat gereeld in die halfgeleierbedryf gebruik word, kan volgens hul chemiese eienskappe en hul verskillende reekse gekategoriseer word:
1. vlambare gasse soos SIH4H2, ens.
2. Giftige gasse soos Ash3, PH3, ens.
3. Korrosiewe gasse soos HF, HCl, ens.
4. kweekhuisgasse soos CF4, NF3, ens.
Aangesien die bogenoemde vier gasse skadelik is vir die omgewing of die menslike liggaam, moet die direkte emissie in die atmosfeer voorkom, dus word die algemene halfgeleieraanleg geïnstalleer met 'n groot gesentraliseerde uitlaatgasbehandelingstelsel, maar hierdie stelsel is slegs die uitlaat van die water, en die toepassing daarvan is dus beperk tot die langafstand-wateroplosbare gasse en kan nie die uitlaatgas verander nie. Daarom is dit nodig om die ooreenstemmende toerusting vir uitlaatgasbehandeling te kies en te pas volgens die gaskenmerke wat uit elke proses afgelei is om die uitlaatgasprobleem op 'n klein manier op te los. Aangesien die werkarea meestal weg van die sentrale uitlaatgasbehandelingstelsel is, lei dit dikwels as gevolg van gaskenmerke tot kristallisasie of stofophoping in die pypleiding, wat lei tot die verstopping van die pypleiding wat lei tot gaslekkasie, en in ernstige gevalle selfs 'n ontploffing veroorsaak, kan dit nie verseker dat die werksveiligheid van die werfwerk nie. Daarom moet u in die werkarea 'n klein toerusting vir die behandeling van uitlaatgas opstel wat geskik is vir die eienskappe van die prosesgas, om die stilstaande uitlaatgas in die werkarea te verminder om die veiligheid van personeel te verseker.
Postyd: Aug-10-2023