Die gebruik van gasse in die halfgeleierbedryf dateer uit die vroeë 1950's tot 1960's. Tydens die halfgeleiervervaardigingsproses word gasse hoofsaaklik gebruik om halfgeleiermateriaal skoon te maak en te beskerm om hul suiwerheid en kwaliteit te verseker. Van die mees gebruikte gasse is stikstof en waterstof.
Namate halfgeleiertegnologie ontwikkel en vervaardigingsprosesse steeds verbeter het, het die vraag na gasse toegeneem. In 1970 het die toepassing van gasse in sleutelprosesse soos ets en afsetting van dun films geleidelik toegeneem, en fluoriedgasse (bv. SF6) en suurstof het gereeld ets- en afsettingsgasse gebruik. 1980 het 'n verdere toename in die vraag na gasse met die ontwikkeling van geïntegreerde stroombane en die toename in die vraag na hulle. Waterstof is wyd gebruik in die vervaardigingsproses, insluitend waterstofgloeiing en waterstofdampneerlegging. En van 1990 tot vandag, het die vraag na gasse met 'n hoë suiwerheid en spesifieke gasse toegeneem namate halfgeleierapparaatgroottes voortgegaan het om te krimp en nuwe prosesse bekendgestel is. Die toepassing van ekstreme ultraviolet-litografie (EUV) vereis byvoorbeeld die gebruik van uiters hoë suiwerheidsgasse soos stikstof en waterstof.
Halfgeleiergas neem steeds toe met die ontwikkeling van verwante produkte wat deur al hoe meer produkte aangedryf word, word aan die lig gebring, terwyl die gas ook tot die bron van gevaar behoort, en die produkte wat gebruik word vir gasdekompressie, gasopsporingsprodukte en die voorkoming van gaslekkasies, het na vore gekom, soos drukreguleerders, gaskleppe, gasdrukometjies, gaslekkasies, ens.
Drukreguleerders: Drukreguleerders is toestelle wat gebruik word om gasdruk te beheer. Dit bestaan gewoonlik uit 'n reguleerklep en 'n druksensor. Drukreguleerders neem 'n hoë drukgas -inset en stabiliseer die druk van die uitsetgas deur die klep aan te pas om aan spesifieke toedieningsvereistes te voldoen. Drukreguleerders word wyd gebruik in gebiede soos nywerhede, vervaardiging en laboratoriums, sowel as in die halfgeleierbedryf, onder andere om die stabiliteit en veiligheid van die gasvoorsiening te verseker.
Gaskleppe: Gaskleppe word gebruik om die vloei van gasse te beheer en om gasgange te sluit. Hulle het gewoonlik 'n aan/uit -funksie wat die gasvloei oopmaak of sluit. Daar is verskillende soorte gaskleppe, insluitend handkleppe, elektriese kleppe en pneumatiese kleppe. Dit word wyd in gasstelsels gebruik om die vloei, druk en vloeitempo van gasse te beheer.
Gasdrukmeters: Gasdrukmeters word gebruik om die drukvlak van 'n gas te meet. Dit word gewoonlik op kritieke plekke in gasstelsels geïnstalleer om drukveranderings te monitor en te verseker dat dit binne veilige perke is. Gasdrukmeters word wyd gebruik in die industrie, vervaardiging en laboratoriums, en die halfgeleierbedryf is ook betrokke.
Gaslek -detektors: Gaslekdetektore word gebruik om lekkasies in gasstelsels op te spoor. Hulle bespeurDie teenwoordigheid van gaslekkasies en klink 'n alarm sodat daar tydige optrede gedoen kan word om lekkasieongelukke te voorkom. Gaslek -detektors word wyd gebruik in industriële, chemiese, olie- en gastoepassings, en die halfgeleierbedryf is ook betrokke.
Postyd: Feb. 20-20 Februarie