Namate die halfgeleiermark groei, word standaarde vir suiwerheid en akkuraatheid strenger. Een van die bepalende faktore in die kwaliteit van halfgeleiervervaardiging is die gasse wat in die proses gebruik word. Hierdie gasse speel baie rolle in die vervaardigingsproses, insluitend:
Presisieprosesbeheer
Besoedelingsvoorkoming
Metallurgiese eiendomverbetering
Om hierdie rolle effektief uit te voer, moet die gasvoorsiening en verspreidingstelsel doeltreffend wees. Die ontwerp van gashanteringstelsels wat in halfgeleiervervaardiging gebruik word, moet ondersteun word deur robuuste komponente en aangepaste samestellings om betroubare en hoë kwaliteit produksie van halfgeleiers te verseker.
Gasse wat in halfgeleiervervaardiging gebruik word
Die proses om halfgeleiers te vervaardig, benodig verskillende gasse in verskillende stadiums van die proses.
Alhoewel algemene gasse soos stikstof, waterstof, argon en helium in hul suiwer vorm gebruik kan word, kan sekere prosesse gespesialiseerde mengsels benodig. Silane of siloksane, heksafluoriede, haliede en koolwaterstowwe is 'n paar van die spesialiteitsgasse wat in halfgeleiervervaardiging gebruik word. Baie van hierdie gasse kan gevaarlik of baie reaktief wees, wat uitdagings skep in die keuse en ontwerp van komponente vir gasstelsels.
Hier is 'n paar voorbeelde:
\ Waterstof en helium kan maklik van pyp- en passtelsels lek as gevolg van hul klein atoomgrootte en gewig.
\ Silane is baie vlambaar en kan spontaan (outo -signiet) in die lug verbrand.
\ Nitrogeendifluoried wat in die afsetting, ets- en kamerskoonmaakfases gebruik word, word 'n kragtige kweekhuisgas wanneer dit in die omgewing uitgelek word.
\ Waterstoffluoried (etsgas) is baie korrosief vir metaalpype.
Dit kan moeilik wees om die afsettingsproses te beïnvloed \ trimetielgallium en ammoniak - klein skommelinge in hul temperatuur- en drukvereistes.
Die beheer van prosesomstandighede om die negatiewe gevolge van hierdie gasse te verminder, moet 'n topprioriteit wees tydens stelselontwerp. Dit is net so belangrik om die hoogste gehalte komponente soos AFK -diafragma -kleppe tydens die bouproses te gebruik.
Die aanspreek van stelselontwerpuitdagings
Halfgeleiergraadgasse is in die meeste gevalle van hoë suiwerheid en bied inerte toestande of verbeter reaksies in verskillende stadiums van die vervaardigingsproses, soos ets- en afsettingsgasse. Lekkasie of besmetting van sulke gasse kan negatiewe gevolge hê. Daarom is dit van kritieke belang vir die stelselkomponente wat gebruik word om hermeties verseël en korrosiebestand te wees, sowel as 'n gladde oppervlakafwerking (elektrolitiese poleer) om te verseker dat daar geen moontlikheid van besoedeling bestaan nie en dat 'n buitengewone hoë vlak van netheid gehandhaaf kan word.
Daarbenewens kan sommige van hierdie gasse verhit of afgekoel word om die gewenste prosesstoestande te bereik. Goed-geïsoleerde komponente verseker temperatuurbeheer, wat van kritieke belang is vir die doeltreffende werkverrigting van die finale produk.
Van die broninlaat tot die gebruikspunt, ondersteun AFK se wye verskeidenheid komponente die ultra-hoë suiwerheid, temperatuur, druk en vloeibeheer wat benodig word in halfgeleier skoonkamers en vakuumkamers.
Ontwerpte stelsels met kwaliteit komponente in halfgeleier Fabs
Die rol van kwaliteitskomponente en ontwerpoptimalisering is van kritieke belang vir die presiese beheer en veilige vervaardiging van halfgeleiers. Die komponente wat gebruik word, moet robuust en lekvry wees om aan te pas by die wisselende prosesomstandighede wat in verskillende stadiums van vervaardiging benodig word.AFK se kleppe van hoë gehalte, toebehore, reguleerders, pype en verseëling hakies word gekenmerk deur die volgende funksies:
Ultra-hoë suiwerheid
Lekvrye seëls
Temperatuurbeheerde isolasie
Drukbeheer
Korrosieweerstand
Elektrolitiese poleerbehandeling
Postyd: Okt-09-2023