Die produksieproses van elektroniese spesialiteitsgasse bevat verskillende prosesse soos sintese, suiwering, vulling, analise en toetsing, vermenging en verhouding. Om aan die vereistes vir suiwerheid en onreinheidsinhoud te voldoen, is die suiweringsproses baie belangrik. Afhangend van die samestelling van die stroomop-sintese-gas of rou gas, word lae temperatuur distillasie of multi-fase suiwering uitgevoer.
Hoë netheidsvereistes
Die voorbereidingsproses van elektroniese spesiale gasse kan in twee hoofblokke van stroomop sintese -voorbereiding en suiwering verdeel word, wat tot die chemiese produksieproses behoort. Die grootte van die produksiepypleiding is groot, en daar is geen spesiale vereiste op die skoonheidsvlak nie. Na stroomaf suiwering is die produk met gas gevul en gemeng vir voorbereiding. Die produksiepypleiding is klein en het die vereistes vir skoonheidsvlak. Dit moet voldoen aan die standaardspesifikasie van die halfgeleiervervaardigingsproses.
Hoë seëlvereistes
As gevolg van hul chemiese aktiwiteit, stel elektroniese spesialiteitsgasse ook hoë eise aan die materiale en verseëling van die produksieprosesstelsel. Net soos die vereistes van halfgeleiervervaardiging, verhoed dit die lekkasie van die koppelvlak wat veroorsaak word deur die bekendstelling van onsuiwerhede of korrosie van spesiale gasse. Die stelsel kan ook gebruik word om die bekendstelling van onsuiwerhede of die lekkasie van die koppelvlak wat veroorsaak word deur die korrosie van spesiale gasse te voorkom.
Hoë kwaliteit stabiliteitsvereistes
Die kwaliteit van elektroniese spesialiteitsgasse bevat 'n aantal aanwysers soos suiwerheid en onreinheidsdeeltjie -inhoud. Enige verandering in die aanwysers sal die resultate van die stroomaf -halfgeleiervervaardigingsproses beïnvloed. Om die konsekwentheid van die elektroniese spesiale gasproduk -aanwysers te verseker, is die voorbereidingsprosesstelsel om die stabiliteit van die aanwysers te beheer, ook baie belangrik.
As gevolg van die chemiese aktiwiteits- en kwaliteitsvereistes van EGP, moet die produksiestelsel vir EGP -voorbereiding, veral die stroomaf -suiweringsisteem, aan die vereistes van hoë suiwerheidsmateriaal voldoen, hoë verseëling, hoë netheid en hoë kwaliteit konsekwentheid, en die konstruksie van ontwerpte komponente moet voldoen aan die standaarde van die vervaardigingsbedryf vir halfgeleiers.
Waarna ons gereeld verwys as 'hoë suiwerheid', is teoreties die definisie van die suiwerheid van 'n stof, soos gasse met 'n hoë suiwerheid, chemikalieë met 'n hoë suiwerheid, ens. Prosesstelsels of prosesstelselkomponente wat op hoë suiwerheidstowwe toegepas word, word ook verwys as 'n hoë suiwerheid, soos hoë-suiwerheidsstelsels en kleppe met 'n hoë suiwerheid. Elektroniese spesialiteitsgasvoorbereidingstelsels benodig toebehore met 'n hoë suiwerheid, kleppe en ander vloeistofkomponente, dws, toebehore en kleppe wat verwerk word met hoë suiwerheidsmateriaal en skoon vervaardigingsprosesse, en is gestruktureer vir maklike suiwering en skoonmaak. Met 'n hoë seëlprestasie. Hierdie vloeistofkomponente is ontwerp om aan die prosesvloei van die toepassing te voldoen, met behulp van die ingenieurs- en konstruksievereistes van die halfgeleierbedryf.
Hoë suiwerheidspypverbindings
VCR -metaalpakking -gesigseëlverbindings en outomatiese geleidingsweisverbindings word wyd gebruik in die vereistes vir die suiwerheid van die vloeistofstelsel vanweë die vermoë om aan die gladde oorgang van die vloeipad by die verbinding te voldoen, geen stagnasiesone en 'n hoë seëlprestasie nie. VCR -verbindings vorm 'n nou oppervlakseël deur 'n relatiewe sagte metaalpakking te onttrek. Herhaalbare en konsekwente verbinding en seëlprestasie word verseker elke keer as die vervormde pakking verwyder en vervang word.
Buise word gesweis met behulp van 'n outomatiese orbitale sweisstelsel. Die buis word beskerm deur hoë suiwerheid van binne en buite. Die wolframelektrode draai langs die wentelbaan vir sweiswerk van hoë gehalte. Dit is moeilik om 'n hoë kwaliteit sweiswerk te bereik met die hand van die handmatige materiale, wat 'n hoë kwaliteit sweiswerk bereik, is moeilik om te bereik met handmatige sweiswerk.
VCR -metaalpakking gesigseëlverbinding
Outomatiese orbitale boude -sweisverbinding van pype
Hoë suiwerheidskleppe
Die chemiese aktiwiteit van vlambare, plofbare, korrosiewe en giftige elektroniese spesialiteitsgasse stel groot eise aan die verseëling van die klep. Om die verseëlingbetroubaarheid te verbeter, is die vereiste van verpakkinglose kleppe om eksterne lekkasie te voorkom, dit wil sê die werking van die klepstam en die klepliggaam tussen die seël met behulp van metaalbalk of metaalmembraan, om die lekkasie te elimineer as gevolg van skuur en die vervorming van seël. Bellows-verseëlde en diafragma-verseëlde kleppe word gereeld in prosesstelsels gebruik vir toepassings met 'n hoë suiwerheid as gevolg van die groter betroubaarheid van die seëls en die makliker skoonmaak en suiwering van die klepinternale.
Bellows-verseëlde kleppe is 'n verpakkingslose naaldklepkonstruksie wat stadig opening en vloei-regulering moontlik maak. Word gebruik vir elektroniese spesialiteitsgasvulling met veiligheidsvloeivereistes of op voorloperbronbottels met hoë veiligheidsvereistes. Die All-Metal Stem Tip-seëls maak voorsiening vir buitengewone lae werkingstemperature en word gebruik vir kryogene vloeibaarheid van elektroniese spesialiteitsgasse in finale produktenks na kryogene distillasie vir pype.
Die lentelose diafragma seëlklep is 'n 1/4 ″ Snap-oop klep vir gebruik as 'n outomaties beheerde skakelklep in afleweringspype. Dit word gereeld gebruik in ultra-hoë druk, hoë-suiweringstoepassings as gevolg van hul eenvoudige interne vloeipad, klein interne volume en gemak van suiwering en vervanging.
Diafragma-verseëlde kleppe wat via die stampunt toemaak, kan stadig oopgaan en by hoër werksdruk gebruik word as nie-gesplete diafragma-verseëlde kleppe. Dit word wyd gebruik op elektroniese spesialiteitsgasvulling of voorloperbronbottels met hoë druk.
Die sekondêre seëlbalkklep kan nie net in -200 grade in ultra -lae temperatuurprosesstelsels gebruik word nie, maar voorkom ook die lekkasie van gevaarlike media in die atmosfeer. Word gewoonlik gebruik vir baie gevaarlike elektroniese spesiale gasse, soos silaanvulstelsel.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, met meer as tien jaar ondervinding in die verskaffing van industriële en spesialiteitsgasse, materiale, gasvoorsieningstelsels en gasingenieurswese vir die halfgeleier, LED, DRAM, TFT-LCD-markte, kan ons u voorsien van die nodige materiale om u produkte op die voorgrond van die industrie te stoot. Ons kan nie net 'n wye verskeidenheid kleppe en toebehore vir semi-geleier elektroniese spesialiteitsgasse lewer nie, maar ons kan ook gaspype en installasie van toerusting vir ons kliënte ontwerp. As u enige behoeftes in hierdie gebied het, kontak ons gerus by 27919860.
Postyd: Jul-19-2023