Gaspyptegnologie met 'n hoë suiwerheid is 'n belangrike deel van die hoë-suiwerheidsgasvoorsieningstelsel, wat die belangrikste tegnologie is om die vereiste hoë-suiwerheidsgas tot die gebruikspunt te lewer en steeds die gekwalifiseerde gehalte te handhaaf; Gaspyp-tegnologie met 'n hoë suiwerheid bevat die korrekte ontwerp van die stelsel, die keuse van toebehore en bykomstighede, konstruksie en installasie en toetsing. In onlangse jare het die toenemend streng vereistes vir die suiwerheid en onreinheidsinhoud van gasse met 'n hoë suiwerheid in die produksie van mikro-elektroniese produkte wat deur grootskaalse geïntegreerde stroombane voorgestel is, die pyptegnologie van hoë-suiwerheidsgasse al hoe meer betref en beklemtoon. Die volgende is 'n kort oorsig van gaspype met 'n hoë suiwerheid van materiaalkeuseof konstruksie, sowel as aanvaarding en daaglikse bestuur.
Tipes gewone gasse
Klassifikasie van algemene gasse in die elektroniese industrie：
Algemene gasse（Grootmaatgas）: waterstof (h2), stikstof (n2), suurstof (O2), argon (a2), ens.
Spesialiteitsgasseis SIH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCl,CF4 ,NH3,Pocl3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, Bcl3 ,Sif4 ,CLF3 ,Mede,C2F6, N2O,F2,Hf,HBR SF6…… ens.
Die soorte spesiale gasse kan oor die algemeen as korrosief geklassifiseer wordgas, giftiggas, vlambaargas, brandbaargas, inertgas, ens. Die algemeen gebruikte halfgeleiergasse word oor die algemeen soos volg geklassifiseer.
(i) Korrosief / giftiggas: Hcl, bf3, Wf6, HBR, SIH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, Bcl3... ens.
(ii) Vlambaarheidgas: H2Ch4, SIH4, PH3, Ash3, SIH2Cl2, B2H6, CH2F2,Chkis3F, CO ... ens.
(iii) brandbaarheidgas: O2, Cl2, N2O, NF3... ens.
(iv) inertgas: N2, Vgl4, C2F6, C4F8,Sf6, CO2, Ne, kr, hy ... ens.
Baie halfgeleiergasse is skadelik vir die menslike liggaam. Sommige van hierdie gasse, soos SIH4 Spontane verbranding, solank 'n lekkasie gewelddadig met die suurstof in die lug sal reageer en begin brand; En as3Baie giftig, enige geringe lekkasie kan die risiko van die menslike lewe veroorsaak, dit is as gevolg van hierdie duidelike gevare, dus is die vereistes vir die veiligheid van die stelselontwerp veral groot.
Toepassingsomvang van gasse
As 'n belangrike basiese grondstof van die moderne industrie, word gasprodukte wyd gebruik, en 'n groot aantal gewone gasse of spesiale gasse word in metallurgie, staal, petroleum, chemiese industrie, masjinerie, elektronika, glas, keramiek, boumateriaal, konstruksie, voedselverwerking, medisyne en mediese sektore gebruik. Die toepassing van gas het veral 'n belangrike invloed op die hoë tegnologie van hierdie velde, en is die onontbeerlike grondstofgas of prosesgas. Slegs met die behoeftes en bevordering van verskillende nuwe nywerheidsektore en moderne wetenskap en tegnologie, kan die gasbedryfprodukte ontwikkel word met sprong in terme van verskeidenheid, kwaliteit en hoeveelheid.
Gastoediening in mikro -elektronika en halfgeleierbedryf
Die gebruik van gas het nog altyd 'n belangrike rol in die halfgeleierproses gespeel, veral die halfgeleierproses is wyd gebruik in verskillende industrieë, van die tradisionele ULSI, TFT-LCD tot die huidige mikro-elektro-meganiese (MEMS) industrie, wat die sogenaamde halfgeleierproses as die vervaardigingsproses van produkte gebruik. Die suiwerheid van die gas het 'n deurslaggewende impak op die prestasie van komponente en produkopbrengste, en die veiligheid van die gasvoorraad hou verband met die gesondheid van personeel en die veiligheid van plantbedrywighede.
Die belangrikheid van hoë-suiwerheidspype in gasvervoer met hoë suiwerheid
In die proses van smeltvrye staal smelt en die maak van materiaal, kan ongeveer 200 g gas per ton opgeneem word. Na die verwerking van vlekvrye staal, het nie net die oppervlak klewerig met verskillende kontaminante nie, maar ook in sy metaalrooster ook 'n sekere hoeveelheid gas opgeneem. As daar lugvloei deur die pypleiding is, absorbeer die metaal hierdie deel van die gas weer in die lugvloei, wat die suiwer gas besoedel. As die lugvloei in die buis diskontinue vloei is, adsorbeer die buis die gas onder druk, en wanneer die lugvloei ophou verbygaan, vorm die gas wat deur die buis geadsorbeer word, 'n drukval om op te los, en die opgeloste gas betree ook die suiwer gas in die buis as onsuiwerhede. Terselfdertyd word die adsorpsie en resolusie herhaal, sodat die metaal op die binneste oppervlak van die buis ook 'n sekere hoeveelheid poeier produseer, en hierdie metaalstofdeeltjies besoedel ook die suiwer gas in die buis. Hierdie kenmerk van die buis is noodsaaklik om die suiwerheid van die vervoergas te verseker, wat nie net 'n baie hoë gladheid van die binneste oppervlak van die buis benodig nie, maar ook 'n hoë slytasie -weerstand.
As die gas met 'n sterk korrosiewe werkverrigting gebruik word, moet korrosie-weerstandige vlekvrye staalpype gebruik word vir pype. Andersins sal die pyp korrosievlekke op die binneste oppervlak produseer as gevolg van korrosie, en in ernstige gevalle sal daar 'n groot oppervlakte van metaalstroop of selfs perforasie wees, wat die suiwer gas wat versprei moet word, besoedel.
Die verbinding van hoë-suiwerheid en hoë-skoonheid gasoordrag en verspreidingspyplyne van groot vloeitempo's.
In beginsel is almal gesweis, en die buise wat gebruik word, moet geen verandering in organisasie hê wanneer sweiswerk toegepas word nie. Materiaal met 'n te hoë koolstofinhoud is onderhewig aan die lugdeurlaatbaarheid van die gelaste dele tydens sweiswerk, wat die wedersydse penetrasie van gasse binne en buite die pyp maak en die suiwerheid, droogheid en netheid van die oordraagbare gas vernietig, wat lei tot die verlies van al ons pogings.
Samevattend is dit nodig om 'n spesiale behandeling met 'n hoë-oppervlakte-vlekvrye staalpyp te gebruik om 'n spesiale behandeling met 'n hoë suiwerheid van vlekvrye staal, om 'n hoë suiwerheid van die pype van die hoë suiwerheid te gebruik, 'n opsomming om 'n hoë oppervlakte-pypleidingstelsel (insluitend pype, toebehore, kleppe, VMB, VMP) in 'n hoë suiwerheid in gasverspreiding te gebruik.
Algemene konsep van skoon tegnologie vir transmissie- en verspreidingspyplyne
Baie suiwer en skoon gasliggaamsoordrag met pype beteken dat daar sekere vereistes of kontroles is vir drie aspekte van die gas wat vervoer moet word.
Gasuiwerheid: die inhoud van onsuiwerheidsatmosfeer in die GGAS -suiwerheid: die inhoud van onsuiwerheidsatmosfeer in die gas, gewoonlik uitgedruk as 'n persentasie gasuiwerheid, soos 99.9999%, ook uitgedruk as die volume -verhouding van die onreinheidsatmosfeerinhoud PPM, PPB, PPT.
Droogheid: die hoeveelheid spoorvog in die gas, of die hoeveelheid genaamd natheid, wat gewoonlik uitgedruk word in terme van doupunt, soos die atmosferiese druk dauwpunt -70. C.
Netheid: die aantal besoedelde deeltjies wat in die gas, deeltjiegrootte van µm bevat, hoeveel deeltjies/m3 om uit te druk, vir saamgeperste lug, meestal ook uitgedruk in terme van hoeveel mg/m3 onvermydelike vaste residue, wat die olie -inhoud dek.
Besoedelgrootte-klassifikasie: Besoedelende deeltjies, hoofsaaklik verwys na pypleidingskuur, slytasie, korrosie wat gegenereer word deur metaaldeeltjies, atmosferiese roetdeeltjies, sowel as mikroörganismes, fage en vogbevattende gaskondensasiedroplette, ens.
A) Groot deeltjies - deeltjiegrootte bo 5μm
b) Deeltjie-Materiaaldiameter tussen 0,1μm-5μm
c) Ultra-mikro-deeltjies-deeltjiegrootte minder as 0,1μm.
Ten einde die toepassing van hierdie tegnologie te verbeter, om perseptuele begrip van deeltjiegrootte en μm -eenhede te kan wees, word 'n stel spesifieke deeltjie -status vir verwysing voorsien
Die volgende is 'n vergelyking van spesifieke deeltjies
| Naam /deeltjiegrootte (µm) | Naam /deeltjiegrootte (µm) | Naam/ deeltjiegrootte (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0,03-1 | Aerosolized Microdropret 1-12 |
| Kernbrandstof 0,01-0.1 | Verf 0.1-6 | Vlieg as 1-200 |
| Koolstof swart 0.01-0.3 | Melkpoeier 0,1-10 | Plaagdoder 5-10 |
| Hars 0,01-1 | Bakterieë 0.3-30 | Sementstof 5-100 |
| Sigaretrook 0,01-1 | Sandstof 0,5-5 | Stuifmeel 10-15 |
| Silikoon 0,02-0.1 | Plaagdoder 0,5-10 | Menslike hare 50-120 |
| Gekristalliseerde sout 0,03-0,5 | Gekonsentreerde swaelstof 1-11 | Seesand 100-1200 |
Postyd: Jun-14-2022