Hoë-suiwer gaspyptegnologie is 'n belangrike deel van 'n hoë-suiwer gastoevoerstelsel, wat die sleuteltegnologie is om die vereiste hoësuiwer gas tot by die gebruikspunt te lewer en steeds die gekwalifiseerde kwaliteit te handhaaf;Hoë-suiwer gaspyptegnologie sluit die korrekte ontwerp van die stelsel, die keuse van toebehore en bykomstighede, konstruksie en installasie, en toetsing in.In onlangse jare het die toenemend streng vereistes vir die suiwerheid en onsuiwerheidsinhoud van hoësuiwer gasse in die vervaardiging van mikro-elektroniese produkte wat deur grootskaalse geïntegreerde stroombane verteenwoordig word, die pyptegnologie van hoësuiwer gasse toenemend bekommerd gemaak en beklemtoon.Die volgende is 'n kort oorsig van hoë-suiwer gaspype vanaf materiaalkeuseof konstruksie, asook aanvaarding en daaglikse bestuur.
Tipes algemene gasse
Klassifikasie van algemene gasse in die elektroniese industrie:
Algemene gasse(Grootmaat gas）: waterstof (H2), stikstof (N2), suurstof (O2), argon (A2), ens.
Spesiale gasseis SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… ens.
Die tipes spesiale gasse kan oor die algemeen as korrosief geklassifiseer wordgas, giftiggas, vlambaargas, brandbaargas, inertgas, ens. Die algemeen gebruikte halfgeleiergasse word oor die algemeen soos volg geklassifiseer.
(i) Korrosief / giftiggas: HCl, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… ens.
(ii) Vlambaarheidgas:H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO … ens.
(iii) brandbaarheidgas: O2, Cl2, N2O, NF3… ens.
(iv) Inertgas: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, Hy … ens.
Baie halfgeleiergasse is skadelik vir die menslike liggaam.Veral sommige van hierdie gasse, soos SiH4 spontane ontbranding, solank 'n lek heftig met die suurstof in die lug sal reageer en begin brand;en AsH3hoogs giftig, enige geringe lekkasie kan die risiko van menselewens veroorsaak, dit is as gevolg van hierdie ooglopende gevare, so die vereistes vir die veiligheid van die stelselontwerp is besonder hoog.
Toepassingsomvang van gasse
As 'n belangrike basiese grondstof van die moderne industrie, word gasprodukte wyd gebruik, en 'n groot aantal algemene gasse of spesiale gasse word gebruik in metallurgie, staal, petroleum, chemiese industrie, masjinerie, elektronika, glas, keramiek, boumateriaal, konstruksie , voedselverwerking, medisyne en mediese sektore.Die toepassing van gas het 'n belangrike impak op die hoë tegnologie van veral hierdie velde, en is die onmisbare grondstofgas of prosesgas daarvan.Slegs met die behoeftes en bevordering van verskeie nuwe nywerheidsektore en moderne wetenskap en tegnologie, kan die gasindustrieprodukte met rasse skrede ontwikkel word in terme van verskeidenheid, kwaliteit en kwantiteit.
Gastoepassing in mikro-elektronika en halfgeleierbedryf
Die gebruik van gas het nog altyd 'n belangrike rol in die halfgeleierproses gespeel, veral die halfgeleierproses is wyd gebruik in verskeie industrieë, van die tradisionele ULSI, TFT-LCD tot die huidige mikro-elektro-meganiese (MEMS) industrie, alles van wat die sogenaamde halfgeleierproses as die vervaardigingsproses van produkte gebruik.Die suiwerheid van die gas het 'n deurslaggewende impak op die werkverrigting van komponente en produkopbrengs, en die veiligheid van die gastoevoer hou verband met die gesondheid van personeel en die veiligheid van aanlegbedrywighede.
Die belangrikheid van hoë-suiwer pype in hoë-suiwer gas vervoer
In die proses van vlekvrye staal smelt en materiaal maak, kan ongeveer 200g gas per ton geabsorbeer word.Na die verwerking van vlekvrye staal, nie net sy oppervlak taai met verskeie kontaminante, maar ook in sy metaal rooster ook geabsorbeer 'n sekere hoeveelheid gas.Wanneer daar lugvloei deur die pyplyn is, absorbeer die metaal hierdie deel van die gas sal weer die lugvloei binnegaan, wat die suiwer gas besoedel.Wanneer die lugvloei in die buis diskontinue vloei is, adsorbeer die buis die gas onder druk, en wanneer die lugvloei ophou verbygaan, vorm die gas wat deur die buis geadsorbeer word 'n drukval om op te los, en die opgeloste gas gaan ook die suiwer gas in die buis binne. as onsuiwerhede.Terselfdertyd word die adsorpsie en resolusie herhaal, sodat die metaal op die binneoppervlak van die buis ook 'n sekere hoeveelheid poeier produseer, en hierdie metaalstofdeeltjies besoedel ook die suiwer gas binne die buis.Hierdie eienskap van die buis is noodsaaklik om die suiwerheid van die vervoerde gas te verseker, wat nie net 'n baie hoë gladheid van die binneoppervlak van die buis vereis nie, maar ook 'n hoë slytweerstand.
Wanneer die gas met sterk korrosiewe werkverrigting gebruik word, moet korrosiebestande vlekvrye staalpype vir pype gebruik word.Andersins sal die pyp korrosiekolle op die binneoppervlak produseer as gevolg van korrosie, en in ernstige gevalle sal daar 'n groot area van metaalstroop of selfs perforasie wees, wat die suiwer gas wat versprei moet word, sal besoedel.
Die verbinding van hoë-suiwerheid en hoë-netheid gas transmissie en verspreiding pypleidings van groot vloeitempo.
In beginsel word almal gesweis, en die buise wat gebruik word, moet geen verandering in organisasie hê wanneer sweiswerk toegepas word nie.Materiale met 'n te hoë koolstofinhoud is onderhewig aan die lugdeurlaatbaarheid van die gelaste dele tydens sweiswerk, wat die wedersydse penetrasie van gasse binne en buite die pyp veroorsaak en die suiwerheid, droogheid en skoonheid van die oorgedrade gas vernietig, wat lei tot die verlies van al ons pogings.
Samevattend, vir hoë-suiwer gas en spesiale gas transmissie pypleiding, is dit nodig om 'n spesiale behandeling van hoë suiwer vlekvrye staal pyp te gebruik, om 'n hoë suiwer pypleiding stelsel te maak (insluitend pype, toebehore, kleppe, VMB, VMP) in hoë-suiwer gasverspreiding beklee 'n belangrike missie.
Algemene konsep van skoon tegnologie vir transmissie- en verspreidingspypleidings
Hoogs suiwer en skoon gasliggaamtransmissie met pype beteken dat daar sekere vereistes of kontroles is vir drie aspekte van die gas wat vervoer moet word.
Gassuiwerheid: Die inhoud van onsuiwerheid atmosfeer in die gGas suiwerheid: Die inhoud van onsuiwerheid atmosfeer in die gas, gewoonlik uitgedruk as 'n persentasie van gas suiwerheid, soos 99,9999%, ook uitgedruk as die volume verhouding van onsuiwerheid atmosfeer inhoud ppm, ppb, ppt.
Droogte: die hoeveelheid spoorvog in die gas, of die hoeveelheid wat natheid genoem word, gewoonlik uitgedruk in terme van doupunt, soos atmosferiese druk-doupunt -70.C.
Netheid: die aantal kontaminantdeeltjies wat in die gas vervat is, deeltjiegrootte van µm, hoeveel deeltjies/M3 om uit te druk, vir saamgeperste lug, gewoonlik ook uitgedruk in terme van hoeveel mg/m3 onvermydelike vastestofreste, wat die olie-inhoud dek .
Besoedelende grootteklassifikasie: besoedelende deeltjies, verwys hoofsaaklik na pyplynskuur, slytasie, korrosie gegenereer deur metaaldeeltjies, atmosferiese roetdeeltjies, sowel as mikroörganismes, fage en vogbevattende gaskondensasiedruppels, ens., volgens die grootte van sy deeltjiegrootte is verdeel in
a) Groot deeltjies – deeltjiegrootte bo 5μm
b) Deeltjie – materiaal deursnee tussen 0.1μm-5μm
c) Ultra-mikro-deeltjies – deeltjiegrootte minder as 0.1μm.
Ten einde die toepassing van hierdie tegnologie te verbeter, om perseptuele begrip van partikelgrootte en μm-eenhede te kan kry, word 'n stel spesifieke partikelstatus verskaf vir verwysing
Die volgende is 'n vergelyking van spesifieke deeltjies
| Naam/Partikelgrootte (µm) | Naam/Partikelgrootte (µm) | Naam/ Deeltjiegrootte (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aërosol 0,03-1 | Gespuite mikrodruppel 1-12 |
| Kernbrandstof 0,01-0,1 | Verf 0,1-6 | Vliegas 1-200 |
| Koolstofswart 0,01-0,3 | Melkpoeier 0,1-10 | Plaagdoder 5-10 |
| Hars 0,01-1 | Bakterieë 0,3-30 | Sementstof 5-100 |
| Sigaretrook 0,01-1 | Sandstof 0,5-5 | Stuifmeel 10-15 |
| Silikoon 0.02-0.1 | Plaagdoder 0,5-10 | Menslike hare 50-120 |
| Gekristalliseerde sout 0,03-0,5 | Gekonsentreerde swaelstof 1-11 | Seesand 100-1200 |
Pos tyd: Jun-14-2022